Szczegóły Szczegóły PDF BIBTEX RIS Tytuł artykułu Analysis Of Factors Affecting Gravity-Induced Deflection For Large And Thin Wafers In Flatness Measurement Using Three-Point-Support Method Tytuł czasopisma Metrology and Measurement Systems Rocznik 2015 Wolumin vol. 22 Numer No 4 Autorzy Liu, Haijun ; Dong, Zhigang ; Kang, Renke ; Zhou, Ping ; Gao, Shang Słowa kluczowe flatness measurement ; large and thin silicon wafer ; GID ; three-point-support method ; initial stress Wydział PAN Nauki Techniczne Zakres 531-546 Wydawca Polish Academy of Sciences Committee on Metrology and Scientific Instrumentation Data 2015[2015.01.01 AD - 2015.12.31 AD] Typ Artykuły / Articles Identyfikator ISSN 2080-9050, e-ISSN 2300-1941 Źródło Metrology and Measurement Systems; 2015; vol. 22; No 4; 531-546 <div class="test"></div>