Szczegóły Szczegóły PDF BIBTEX RIS Tytuł artykułu One-axis micro-electromechanical accelerometer with enhanced sensitivity Tytuł czasopisma Archive of Mechanical Engineering Rocznik 2025 Wolumin vol. 72 Numer No 2 Autorzy Nguyen, Van Cuong ; Nguyen, Van Duong ; Bui, Manh Cuong ; Chu, Manh Hoang Afiliacje Nguyen, Van Cuong : Faculty of Mechanical Engineering, Le Quy Don Technical University, Hanoi, Vietnam ; Nguyen, Van Duong : FPT University, Hoa Lac High Tech Park, Hanoi, Vietnam ; Bui, Manh Cuong : Faculty of Mechanical Engineering, Le Quy Don Technical University, Hanoi, Vietnam ; Chu, Manh Hoang : School of Materials Science and Engineering, Hanoi University of Science and Technology, Hanoi, Vietnam Słowa kluczowe one-axis accelerometer ; air damping ; electrostatic tuning ; enhanced sensitivity Wydział PAN Nauki Techniczne Zakres 311-332 Wydawca Polish Academy of Sciences, Committee on Machine Building Data 3.07.2025 Typ Article Identyfikator DOI: 10.24425/ame.2025.154738 ; ISSN 0004-0738, e-ISSN 2300-1895